シリコンディスク

シリコンディスク

この精密シリコン ディスク シリーズは、細心の注意を払って設計されています。精密加工に信頼性の高いパフォーマンスを提供します、高度なデバイス統合のための高純度の基盤として機能します。-あらゆる産業分野をサポート2 インチ (50mm) ～ 12 インチ (300mm)これらのディスクは、現代の半導体製造の厳しい応力プロファイルの下で絶対的な物理的および化学的安定性を維持するために、独自の結晶成長およびエッジ プロファイリング技術を使用して設計されています。{0}}

下流製造の安定性:の均一な構造-厳密に制御された半径方向抵抗率と酸素濃度が特徴-安定した下流製造を保証します。この均一性により、エッチング速度と堆積の均一性の変動が最小限に抑えられ、高密度の予測可能なプロセス ウィンドウが提供されます。-アナログICと電源管理建築。

シームレスな機器の互換性:摩擦のない統合を目指して設計されたディスク標準的な半導体装置と互換性がありますノッチ/フラット寸法と裏面形態に関する国際 SEMI 規格に厳密に準拠しています。-この互換性により、高速ロボット ハンドリングと自動真空チャッキング システムで信頼性の高いパフォーマンスが保証され、ダウンタイムと再調整の必要性が軽減されます。{2}

高容量スケーリングにおける寸法精度:{0}}ディスク優れた寸法精度を維持しますサブ-ミクロンの全厚さ変動（TTV）と超低反り/反りが特徴です。-この幾何学的完全性大規模な本番環境をサポート-これは、サブミクロンのフィーチャーや高アスペクト比の構造をエラーなくスケーリングするために不可欠です。{0}{1}

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