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製品説明
単結晶シリコンウェーハ
当社の単結晶シリコンウェーハは、高度な結晶成長技術により製造、高精度のチョクラルスキー (CZ) またはフロート ゾーン (FZ) プロセスを利用して、-均一な格子構造と最小限の欠陥を保証します。凝固段階中に厳密な熱勾配制御を維持することで、実質的に粒界のない長距離原子秩序を実現します。-この結晶の完璧さはピーク電子移動度を達成するための基本的な前提条件であり、すべてのウェーハが次世代のサブ-デバイス アーキテクチャに優れたテンプレートを提供することを保証します。
高精度回路のための安定した電気的性能:単結晶マトリックス内に粒界が存在しないため、キャリア散乱中心が排除され、これらのウェーハは安定した電気的性能を提供します。この均質性は、高密度の製品を一貫して製造するために重要です。-ロジック、メモリ、アナログ ICここでは、しきい値電圧と漏れ電流を正確に制御することは交渉の余地がありません。{0}}
優れた構造信頼性:フロントエンド オブ ライン(FEOL)処理の激しい熱的ストレスや機械的ストレスに耐えるように設計された当社のウェーハは、高い信頼性多様な製造環境にわたって。その堅牢な熱機械特性により、高温拡散および急速熱アニーリング (RTA) サイクル中の格子の滑りや微小反りが防止され、多層 3D 積層に必要な幾何学的忠実度が維持されます。-
超低欠陥密度による歩留まりの向上:{0}厳格な溶融シリコンのろ過と超清浄な研磨シーケンスにより、結晶由来のピット(COP)と金属汚染物質を最小限に抑えます。{{1}この低い欠陥密度により、-ゲート酸化膜完全性 (GOI)繊細な電子アプリケーションの「ノイズ フロア」を低減し、高度なファブ ラインのウェーハ レベルの歩留まり(WLY)の向上につながります。-
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