サーマル-グレードのシリコンロッド

サーマル-グレードのシリコンロッド

サーマル-グレードのシリコンロッドは、高温環境や繰り返しの熱サイクルに耐えられるように設計されており、統合された熱処理チェーンに不可欠な構造および機能コンポーネントとして機能します。-精密製造にはピーク温度での絶対的な寸法安定性が必要であることを認識し、これらのロッドは低熱膨張と高密度の結晶凝集に重点を置いて製造されています。-強い熱安定性と変形に対する耐性を備えているため、拡散炉、高温処理、特殊な産業用装置に適しています。-これらのロッドを使用することで、高熱下でも予測可能な機械的応答を維持することで、メーカーは炉ハードウェアのアライメントを保護し、あらゆる生産工程にわたって一貫した熱プロファイルを確保できます。

優れた熱変形耐性:当社の耐熱グレードのロッドは、$1000$ 度を超える持続的な温度にさらされた場合でも、幾何学的形状を維持するように最適化されています。{0}}この「クリープ」や反りに対する耐性は、高価値のシリコン ウェーハをサポートし、自動ハンドリング システムが材料の移動による機械的干渉に遭遇しないようにするために重要です。-

強化された熱衝撃耐性:内部微小応力を最小限に抑える厳密に管理された製造プロセスを通じて、これらのロッドは急速な温度上昇時に優れた靭性を発揮します。{0}この弾力性により、高速加熱および冷却サイクルに通常伴う微小破壊が防止され、炉コンポーネントの耐用年数が大幅に延長されます。-

高純度の熱整合性:クリーンルーム環境で使用するように設計された当社のサーマル ロッドは、低揮発性の化学プロファイルを備えています。{0}これにより、材料が高温でガスを放出したり微粒子を放出したりすることがなくなり、処理雰囲気の純度が保護され、拡散または酸化ステップ中の半導体ウェーハの相互汚染が防止されます。-

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